某半导体行业厂在出产期间中实用氰化钠系定影液,有高质量浓度含NOx生产废水,日处置量50吨。生产废水里面的含NO2-到达2000mg/L,且包含微量分析设计光刻胶成份,处置高难度过大。
2. 化工废水材质及收入
成像道工序废弃物(重要破坏源)
晶圆清理废水处理工艺
废气排放洗衣塔出水
3. 加工生产技术流程图
适用"高层被氧化+有级微生物正确处理"科技创新技艺:
嗅氧空气氧化
:借助什么是臭氧发生的器存在O3,将难生物降解充分物分离为小原子有机物,时候将NO2-腐蚀为NO3-。
生物学膜生理物反应器(MBR)
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首级:星球基地自然环境下加药系统甲醇作碳源,促使反水解酸化响应
二级:好氧生态学膜进一大步降解塑料可挥发物
光电催化工业长度处理
:采用了钛基耐磨涂层金属电极,依据电解法角色彻底删除文件转化的残留物污染破坏物。
4. 最中结果
NOx总氮低于8mg/L一下
COD安稳在30mg/L球以内
污废水 使用率达60%
设备操作耗能掌控在3.5kWh/吨水,较常用生产技术节省20%。