该晶圆研制厂是在苏北中南部,最主要产出8英尺光电器件晶圆,单日废水处理释放量下跌约800吨。仍然产出时候中便用非常多氢佛酸做晶圆蚀刻,从而导致废水处理中氟化物浓硫酸浓度高达模型200-300mg/L,远超欧洲国家释放的标准(10mg/L接下来)。
废水处理工艺材料及来源于
生产废水主耍存在这几个基本原则:
晶圆蚀刻环节
:含高氨水浓度氟化物(HF)、硝酸铵及少许巨资属
催化自动化设备cnc精密机械加工(CMP)废渣
:含nm级硅颗粒肥料、有机肥料络合剂
机除垢废水处理
:含异丙醇、氯离子等生物碳物
操作步骤步骤
通过"化学反应积累+混凝土积累+深浅活性炭过滤"两级除理系统:
特一级整理
:污泥脱水氯化钙和氢腐蚀钙,成型氟化钙放置,氟化物除掉率达85%
中级补救
:插入PAC(缔合氯化铝)和PAM(PP酰胺),剔除氢氧化铁态破坏物
三类处置
:经由多物料油烟净化器器和生物炭物理吸附,水流氟化物密度维持在8mg/L这
核心机包扩:pH定时调试设备、斜管奠定池、板框隔膜压滤机(生活污水脱水过滤)。
不可能视觉效果
创业项目开机运行三年期监测站资料显现:
氟化物总值氧化还原电位:7.2mg/L(少于国家地区标准规范)
COD消除率:92%
污水含水分率:≤65%
年再根据氟化钙副品牌约150吨,建立环境秸秆综合根据根据