产品游戏 背景
上海市某半导体材料厂生产加工时中另外生产高硅生活污水(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟生活污水(F⁻ 200-300mg/L)。二者生活污水混合型而后容易生成氟硅酸固体,传统意义化学滤渣法其特性很难安全稳定合格。大型项目规范发送到清理硅和氟(废气排放要求:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
生活污水组成成分及源头
常见化学物质
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
源
:晶圆刻蚀生产生活污水、CMP精磨生产生活污水、设施设备洗水
治疗工艺过程过程
携手沉淀物一阶段
:
多级体现池
:
独一级添加Ca(OH)₂生产CaF₂和CaSiO₃析出;
第二个级添加PAC(聚合反应氯化铝)武器锻造二沉池。
固液溶合时段.
:
反渗透装置控制系统
:选用0.02μm钻孔大小膜构件挪作他用溶液硅和微细沉淀物中物。
深浅脱氟关键期
:
亲水性空气氧化铁吸附物塔
:残存氟化合物吸咐的还原。
终于结果
出水量SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远更为重要国家细则。
反渗透装置设计通量固定在15LMH,生物学清晰时间是延迟至60天。
废水经压滤后含水量率<65%,可按一样 固体废弃物加工。