某半导体器件鑫霖环保芯片有厂在晶圆生产加工过程中中，适用硅烷对其进行硅本质生長，尾气排放洗條塔有高氧浓度含硅废渣。废渣享有pH波动性大（2-11）、硅占比高的作用，中国传统加工处理方式 易展现硅垢梗塞毛病。 废液化学物质及來源 废污水主耍基本成分为： 融化性硅酸盐 ：SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L 盐酸/氢空气氧化钠 ：清洗塔酸性清洗液农药残留 颗料硅 ：納米级SiO₂固体 痕量砷 ：材质溶物带进 处里生产技术流程图 的创新采取"有级采和+膜筛选+蒸发器心得"工艺流程： 1阶段采和 ：用CaO转换pH至4-5，转换硅酸钙凝固，硅的还原率60%。 两级采和 ：加Na₂CO₃将pH大幅提升至9，进每一步结晶其他硅，串联用镁剂除砷。 反渗透膜程序 ：0.02μm瓷器膜吸附納米级硅粉末，通量不稳定性在80LMH。 MVR蒸馏器 ：浓缩提炼高盐污废水 ，成果出Na₂SO₄副企业产品，水循环率超90%。 终于效用 总硅从1500mg/L调至5mg/L低于 砷含氧量从0.8mg/L下降0.01mg/L 体系无结渣电脑运行不超2年 去年收购 盐酸钠氯化钠晶体约800吨