某光电器件制造出公司因晶圆擦拭工艺流程呈现含氨废水补救工艺,容量200吨/天。废水补救工艺中除高锰酸盐指数外还包含有氟化物和轻微高价属,补救一定难度大。偏远地区减排标准化规定高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废水处理材质及特征
晶圆擦洗废水处理(注意来自):含化学需氧量200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀繁琐流程污废水 :含进样器铜、镍等血本属,pH值冲击大
CMP磨细废渣:含硅顆粒及氟化物
处里生产技术操作流程
适用"有机化学滤渣+膜分开+折点氯化"结构技艺:
预净化处理
:加药系统CaCl2除氟,掌握pH在7.5-8.
反渗透膜装置
:除掉0.01μm上面颗粒肥料物
反固化浓缩液
:将氟化物浓缩咖啡至1000mg/L以下
折点氯化
:精准度调控氯加药系统量,将高锰酸盐指数应用为氦气
阴阳离子互换
:安全保障天价属合格
后面特效
挥发酚安稳<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属量低过查测限
水回收率达75%
生活污水生产量缩减40%