南京某半导体加工芯片加工芯片营造厂，晶圆制作进程中生成含硅、氟的层次性废气，来设计加工数量1200吨/日。废气基本成分简化，有效纳米级级硅颗粒肥料及盐酸，以往鑫霖环保得以标准。 污废水 含量及起源 注意影响物 ：电解质溶液硅（100-500nm粒度分布）、氟阴离子（200-300mg/L）、异丙醇 主要来源工艺技术 ：晶圆刻蚀污污废水 （45%）、CMP化学反应机戒增加光泽污污废水 （40%）、机械设备擦拭水（15%） 治理 施工工艺方案 全新适用"物理奠定+特种车膜分离处理"技艺交通路线： 钙盐悠长岁月中 ：加药氯化钙出掉氟化合物（提取CaF2沉淀自己） 水解酸化池现象 ：包覆水解酸化池剂实现目标电解质溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm口径膜挪作他用微细粉末 反渗透装置性系统 ：脱盐率>98%，环保再生资源回加标回收率75% 蒸发器心得 ：浓水段保证氟化物零释放 最后疗效 氟化物有机废气浓度：<8mg/L（不超各国三级的标准10mg/L） 硅浓度：<5mg/L 水材料造纸废水处理率：70%使用保压塔皮肤补水 垃圾减轻：减压蒸馏残留物量较传统的工艺流程减轻60%